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FESTKORPERPROBLEME Xll ADVANCES IN SOLID STATE PHYSICS RiB FESTKORPER PROBLEMEXII ADVANCESIN soug STATE PHYSICS Plenary Lectures of the Professional Groups "Semiconductor Physics", "Magnetism", " L o w Temperature Physics", "Thermodynamics and Statistics", of the German Physical Society Freudenstadt, April 10--14, 1972 Edited by O. Madelung, Marburg With 359 figures Pergamon Vieweg FESTKiiRPER PROBLEMEI(l ADVANCESIN SOLID STATE PHYSICS in Referaten der Arbeitsgemeinschaften ,,Halbleiter", ,,Magnetismus" und der FachausschLisse ,,Tiefe Temperaturen" ,,Thermodynamik und Statistik" der deutschen Physikalischen Gesellschaft Freudenstadt, 10. bis 14. April 1972 Herausgegeben von O. Madelung, Marburg Mit 359 Abbildungen Pergamon Vieweg Pergamon Press L t d . , Headington Hill H a l l , O x f o r d O X 3 0 B W Pergamon Press Inc., Maxwell House, Fairview Park, Elmsford, New York 10523 Pergamon of Canada Ltd., 207, Queen's Quay West, T o r o n t o 1, Canada Pergamon Press ( A u s t . | Pw. L t d . , 19a Rushcutters Bay, S y d n e y , N.S.W. 2011 Friadr. Vieweg + Sohn G m b H , Burgplatz 1, D--33 Braunschweig, Germany-West SIBN 08 0 1 7 2 8 5 7 Pergamon ISBN 3 528 0 8 0 1 8 3 Vieweg 1972 AUe Rechte vorbehaRen Copyright © 1972 by Friedr. Vieweg + Sohn GmbH, Verlag, Braunschweig Library of Congress Catalog Card N o . 64-51891 No part o f this publication may be reproduced, stored in a retrieval system or transmitted, mechanical, photocopying, recording or otherwise, without prior permission o f the copyright holder. Satz: Composerstudio Friedr. Vieweg + Sohn G m b H , Braunschweig Druck: E. Htmold, Braunschweig Buchbinder: W. Langeliiddecke, Braunschweig Umschlaggestaltung: Barbara Seebohm, Braunschweig Printed in Germany-West Vorwort Die Frtihjahrstagung der im Arbeitskreis Festk6rperphysik zusammengeschlossenen Arbeitsgemeinschaften und Fachausschtisse fand in diesem Jahr vom 10. bis 14. A p r i l in Freudenstadt statt. An der Tagung nahm auch die Sektion ftir Kristallkunde der Deutschen Mineralogischen Gesellschaft teil. Mit fast 600 Vortr~igen w a r es die bisher gr6fSte T a gung dieser Art. D e r vorliegende Band enth~ilt alle Hauptvortdige der Arbeitsgemeinschaft Halbleiter und den g r 6 g t e n Teil der Hauptvortrfige der anderen Arbeitsgemeinschaften und Fachausschiasse. Zus~itzlich w u r d e ein Hauptvortrag des Fachausschusses Oberfl~ichen aufgen o m m e n , der auf der Regensburger Frtihjahrstagung gehalten wurde. Mit der IYoergabe der Leitung des Fachausschusses Halbleiterphysik der Deutschen Physikalischen Gesellschaft a n Herrn Prof. Dr. H. J. Queisser, Stuttgart, e n d e t meine T~itigkeit als Herausgeber dieser Buchreihe. Ich m 6 c h t e a n dieser Stelle noch ~inmal allen danken, die mir bei der Vorbereitung und Durchf'tihrung'der Frtihjahrstagungen des Fachausschusses Halbleiterphysik und bei der Herausgabe der Tagungsb~inde geholfen haben. Mein Dank gilt besonders dem Vieweg-Verlag, der auch in diesem Jahr wieder alles d a r a n setzte, den Tagungsband wenige Wochen nach der Tagung herauszubringen. Marburg/Lahn, im Mai 1972 O. Madelung Contents / Inhalt K. U. Stein Hochintegrierte Halbleiterschaltungen 1. Ruge, H. Mailer, H. Ryssel Die lonenimplantation als Dotiertechnologie 23 K. F. Renk 107 Phononpulse B. Kramer Electronic Structure and Optical Properties o f Amorphous Semiconductors 133 U. Helm Zeitaufgel6ste Spektroskopie an Halbleitern 183 R. v. Baltz, U. Birkholz Polaronen 233 L. Merten Polaritonen (Theorie) 343 R. C/aus Polaritonen (Experiment) 381 A. Haug