массоперенос элементов в приповерхностной области при комбинированной обработке мощным ионным пучком и потоком плазмы [DOC]
E-Book Overview
Литературный перевод. — Mass Transfer of Elements in the Undersurface Layers Under Combined Treatment by Pulsed Ion Beams and Plasma Flows. KORUS 2001 Physics P. 363-366.
Результаты исследований представлены для некоторых процессов, происходящих в различные моменты времени, при создании пленок с высокой степенью адгезии, с использованием высоко-дозовой имплантации и глубокого диффузионного легирования, путем импульсно энергетического ударного нагружения. Исследования были выполнены на установке обеспечивающей возможность изменения плотности энергии пучка при обработке мишени от 10 до 108 Вт/см2 . Устройство включало в себя ускоритель мощных ионных пучков, источник повторяющихся пучков металлических ионов и источник металлической плазмы.
E-Book Information