E-Book Overview
Кн. 3: Информационная технология в управлении качеством производства материалов на основе углеродных структур. М.: Издательство ГНУ НИИ ПМТ, 2011. - 208 с.
Рассмотрены основные вопросы создания системы поддержки принятия рациональных решений при управлении качеством производства материалов на основе углеродных структур, имеющей существенное значение для автоматизации проектирования электронных устройств вычислительной техники, систем управления и объектов электронного машино- и приборостроения. Предложенный подход позволяет принимать научно обоснованные, технически целесообразные, технологически и экономически выгодные решения с целью последующего совершенствования известных и создания новых материалов и электронных устройств на основе углеродных структур. Книга предназначена для инженерно-технических и научных работников, занимающихся информационными технологиями в проектировании объектов электронного машиностроения, в том числе управлением качества производства материалов на основе углеродных структур и может быть рекомендована аспирантам вузов и студентам, обучающимся по специальности 210107 - «Электронное машиностроение» и направлению 210100 - «Электроника и наноэлектроника».
E-Book Content
ВВЕДЕНИЕ Интерес к субмикронным структурам связан с возможностью существенной модификации свойств известных веществ, а также новыми возможностями, которые открывает технология создания материалов и изделий из структурных элементов микро- и нанометрового диапазона. Данные процессы требуют изменений основных принципов управления процессами производства на отечественных предприятиях, создания систем управления качеством, аналогичных передовым зарубежным разработкам. Особенно актуальны проблемы повышения качества продукции в отечественной электронной промышленности. Увеличение объёма производства на российских предприятиях качественных электронных компонентов, стоимость которых будет существенно ниже зарубежных аналогов, позволит сэкономить крупные финансовые средства, а также обеспечить независимость ряда важнейших отраслей отечественной промышленности от зарубежных поставщиков. Изделия электронной техники, создаваемые на базе перспективных материалов, используются в настоящее время во многих важнейших производственных сферах: авиационной, космической, оборонной, атомной, энергетической и др. Также областью использования данных материалов в последнее время стала отрасль новых информационных и телекоммуникационных технологий, применение в которых высокотехнологичных проводящих материалов позволяет создавать высокопроизводительные кластерные информационно-управляющие системы. Развитие технологии изготовления приборов микро- и наноэлектроники связано, прежде всего, с уменьшением геометрических размеров микросхем, элементов электронной памяти и микродатчиков различного назначения. Современные средства традиционных технологических операций позволяют получать размеры элементов в субмикронной области. Дальнейшее уменьшение геометрических размеров функциональных элементов на подложке неизбежно приведёт к физическому пределу, определяемому длиной волны 3
ультрафиолетового
излучения,
применяемого
в
традиционной
фотолитографии. С изобретением сканирующего туннельного микроскопа (Рорер, Биннинг – 1981г.) появилась возможность не только наблюдать и исследовать поверхность различных веществ с атомарным разрешением, но и активно воздействовать на неё, то есть манипулировать веществом на уровне отдельных молекул и получать объекты из конечного их числа, удаляя, перемещая или замещая молекулы одного вещества другим. Появилась перспектива работать с отдельными атомами. Целесообразность выбора углерода в качестве подложки и объекта модификации определяется множественностью его аллотропных форм, соединений и широкого диапазона электрофизических свойств: от диэлектрических до полупро