Physics Of Thin Films. Vol.14. Contemporary Preparative Techniques

Preparing link to download Please wait... Attached file not found

E-Book Overview

Academic Press, Boston, 1989, 260 c.В книге представлены такие большие главы:1) Реактивное распыление2) Плазменное окисление3) Катодное дуговое плазменное осаждение тонких пленок4) Подготовка подложек для осаждения пленок с использованием методик тлеющего разряда

E-Book Information

  • Pages In File: 268

  • Language: English

  • Topic: 285

  • Library: twirpx

  • Commentary: 415,476

  • Org File Size: 17,270,333

  • Extension: pdf

  • Tags: Физика Физика плазмы