распределение железа имплантированного в кремний при действии мощного ионного пучка и лазерного излучения [DOC]

E-Book Overview

Литературный перевод. Iron distribution in the implanted silicon under the action of high-power pulsed ion and laser beams. Elseiver. Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B 240 (2005) 224–228 В данной статье представлены результаты по исследованию фазового состава, микроструктуры и распределения легирующего элемента по глубине в кремнии легированном ионами железа и отожженном с использованием ионного пучка и лазера. Данные рентгеновской дифракции указывают переход фазы FeSi→β-FeSi2 с увеличением плотности энергии импульса. После ионной имплантации и импульсной обработки, кремниевые слои получили клеточную структуру, которая связана с низкой растворимостью железа в кремнии. В зависимости от концентрации атомов железа имеет место сегрегация примеси к поверхности или распространению в кремний. Эта зависимость объясняется быстрым распространением железа в жидком кремнии и увеличении коэффициента распределения примеси при увеличении ее концентрации. Результаты компьютерного моделирования хорошо согласуются с экспериментальными данными относительно распределения железа по глубине и дают коэффициент сегрегации близко к 1 при самой высокой концентрации примеси.

E-Book Information

  • Language: Russian

  • Topic: 220

  • Library: twirpx

  • Commentary: 1,273,798

  • Org File Size: 244,736

  • Extension: doc

  • Tags: Машиностроение и материалообработка Высокоэнергетические методы обработки

You might also like

Ion Implantation And Synthesis Of Materials
Authors: Michael Nastasi , James W. Mayer    87    0


Materials Engineering. Science, Processing And Design
Authors: MichaelAshby    129    0


Fatigue Testing And Analysis. Theory And Practice
Authors: Yung-Li Lee , Jwo Pan , Richard Hathaway , Mark Barkey    146    0



механизмы в современной технике
Authors: АРТОБОЛЕВСКИЙ И. И    176    0



Fiberglass Pipe Design Manual
Authors: AWWA (American Water Works Association)    125    0


Fundamentals Of Friction And Wear
Authors: Enrico Gnecco , Enrico Gnecco;Ernst Meyer    150    0


Handbook Of Materials Selection
Authors: Myer Kutz    114    0