распределение железа имплантированного в кремний при действии мощного ионного пучка и лазерного излучения [DOC]

E-Book Overview

Литературный перевод. Iron distribution in the implanted silicon under the action of high-power pulsed ion and laser beams. Elseiver. Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B 240 (2005) 224–228 В данной статье представлены результаты по исследованию фазового состава, микроструктуры и распределения легирующего элемента по глубине в кремнии легированном ионами железа и отожженном с использованием ионного пучка и лазера. Данные рентгеновской дифракции указывают переход фазы FeSi→β-FeSi2 с увеличением плотности энергии импульса. После ионной имплантации и импульсной обработки, кремниевые слои получили клеточную структуру, которая связана с низкой растворимостью железа в кремнии. В зависимости от концентрации атомов железа имеет место сегрегация примеси к поверхности или распространению в кремний. Эта зависимость объясняется быстрым распространением железа в жидком кремнии и увеличении коэффициента распределения примеси при увеличении ее концентрации. Результаты компьютерного моделирования хорошо согласуются с экспериментальными данными относительно распределения железа по глубине и дают коэффициент сегрегации близко к 1 при самой высокой концентрации примеси.

E-Book Information

  • Language: Russian

  • Topic: 220

  • Library: twirpx

  • Commentary: 1,273,798

  • Org File Size: 244,736

  • Extension: doc

  • Tags: Машиностроение и материалообработка Высокоэнергетические методы обработки

You might also like

Hydrodynamics Of Pumps
Authors: Christopher E. Brennen    152    0




Computational Intelligence In Reliability Engineering
Authors: Gregory Levitin , Gregory Levitin    138    0


Thermodynamics And Kinetics In Materials Science: A Short Course
Authors: Boris S. Bokstein , Mikhail I. Mendelev , David J. Srolovitz    140    0


Kinetics Of Materials
Authors: Robert W. Balluffi , Samuel M. Allen , W. Craig Carter    116    0



технология машиностроения Ii
Authors: Под ред. С.Л. Мурашкина    210    0