E-Book Overview
Учебное пособие. – Самара: Изд-во Самар. гос. аэрокосм. ун-та, 2010. – 219 с.
Рассмотрены основные аспекты возникновения и развития микроэлек-троники. Даётся представление об уровне современной микроэлектроники, её методах, средствах, проблемах и перспективах. Обосновывается выбор мате-риалов и конструкций тонкоплёночных, толстоплёночных, гибридных и полу-проводниковых интегральных микросхем. Рассмотрены методы проектирова-ния и расчёта конструктивных параметров элементов с учётом их электриче-ских, технологических и эксплуатационных характеристик; основное внима-ние уделено вероятностному методу расчёта. Материал курса представлен в виде модулей, заканчивающихся контрольными вопросами. Рекомендуется студентам радиотехнического факультета по направле-нию 211000 – «Проектирование и технология электронных средств» для под-готовки бакалавров и магистров на дневном и заочном отделении по курсу «Конструирование интегральных микросхем».Содержание. Введение. <strong>Эволюция в проектировании РЭС. Основные этапы микроминиатюризации РЭС. Основные задачи микроэлектроники. Основные трудности микроминиатюризации. Контрольные вопросы. <strong>Гибридные интегральные микросхемы. Общие сведения о гибридных интегральных микросхемах. Конструктивно-технологические особенности техпроцессов, используемых при изготовлении ГИМС. Возможности дальнейшей микроминиатюризации РЭС. Контрольные вопросы. <strong>Конструирование гибридных интегральных микросхем. Подложки для ИМС. Материалы для получения тонких пленок. Конструирование и расчет тонкопленочных резисторов (ТПР). Конструирование и расчет тонкопленочных конденсаторов (ТПК). Конструирование и расчет пленочных катушек индуктивности. Контрольные вопросы. <strong>Разработка ГИС и оформление конструкторской и технологической документации. Проектирование топологии и конструкции ГИМС. Разработка конструкторской документации на ГИМС. Разработка технологической документации на ГИМС. Классификация микросхем. Контрольные вопросы. <strong>RC-цепи распределенными параметрами. Контрольные вопросы. <strong>Конструирование и расчет полупроводниковых ИМС. Контрольные вопросы. <strong>Особенности конструкций ГИС СВЧ. Контрольные вопросы. <strong>Тепловые режимы ГИС. Контрольные вопросы. <strong>Надёжность микроэлектронной аппаратуры. Контрольные вопросы. Перспективы развития микроэлектроники. Заключение. Список рекомендуемой литературы. Приложения.
E-Book Content
МИНИСТЕРСТВО ОБРАЗОВАНИЯ И НАУКИ РФ ГОСУДАРСТВЕННОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ПРОФЕССИОНАЛЬНОГО ОБРАЗОВАНИЯ «САМАРСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ АЭРОКОСМИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ имени академика С.П. КОРОЛЁВА (национальный исследовательский университет)»
А. И. Меркулов, В. А. Меркулов
Конструирование интегральных микросхем
Электронное учебное пособие
САМАРА 2010
УДК 621.3.049.77
Авторы: Меркулов Анатолий Игнатьевич Меркулов Владимир Анатольевич Рецензенты: Нестеров В.Н. Медников В.А.
Рассмотрены основные аспекты возникновения и развития микроэлектроники. Даётся представление об уровне современной микроэлектроники, её методах, средствах, проблемах и перспективах. Обосновывается выбор материалов и конструкций тонкоплёночных, толстоплёночных, гибридных и полупроводниковых интегральных микросхем. Рассмотрены методы проектирования и расчёта конструктивных параметров элементов с учётом их электрических, технологических и эксплуатационных характеристик; основное внимание уделено вероятностному методу расчёта. Материал курса представлен в виде модулей, заканчивающихся контрольными вопросами. Рекомендуется студентам радиотехнического факультета по направлению 211000 – «Проектирование и технология электронных средств» для п