магнитно-абразивная обработка - перспективный метод полирования кремниевых пластин

E-Book Overview

Тезис доклада. 6-я Междунар науч.-техн. конф. Энерго- и материалосберегающие экологически чистые технологии. – Гродно, ГрГУ, 2005. – с. 56-57.
Авторы: Хомич Н.С., Кухто П.В., Луговик А.Ю., Федорцев Р.В., Власенко Е.П.
Аннотация: Использование магнитного поля при финишной обработке монокристаллов кремния приводит к улучшению обрабатываемости материала за счет уменьшения предела текучести, а также к более интенсивному выходу дислокаций на поверхность и уменьшению количества линейных дефектов кристаллической структуры. Магнитно-абразивная обрбаотка позволяет получить поверхность с характеристикой шероховатости Ra=0,8-2 нм, не вызывая образования дефектного поверхностного слоя [2] и необходимости его удаления химическими методами.

E-Book Content

Национальная Академия наук Республики Беларусь Комитет по науке и технологиям Совета Министров Республики Беларусь Белорусский фонд фундаментальных исследований Научно-исследовательский центр проблем ресурсосбережения НАН Беларуси Институт тепло- и массообмена НАН Беларуси Белорусский государственный научно-производственный концерн порошковой металлургии Гродненский государственный университет имени Янки Купалы Гродненский областной комитет природных ресурсов и охраны окружающей среды Энерго- и материалосберегающие экологически чистые технологии Тезисы докладов 6-й Международной научно-технической конференции 1-2 ноября 2005 г. Гродно Республика Беларусь Гродно 2005 УДК 504.064.43:691.33:699.86 ББК22.0 Р43 Редакционная коллегия: А.И.Свириденок (ответ, редактор), В.А. Бородуля, А.Ф. Ильющенко, М.И.Игнатовский. Научные редакторы: А.И. Свириденок, В.А. Бородуля. Энерго- и материалосберегающие экологически чистые техР43 нологии: Тез. докл. 6-й Междунар. науч.-техн. конф. / под ред. АИ. Свиридёнка и В.А. Бородули. - Гродно : ГрГУ, 2005.-200 с. ISNB 985-417Материалы содержат информацию о путях экономии первичных и рециклинга вторичных ресурсов на основе разработки и применения инновационных ресурсосберегающих и экологически чистых технологий в различных отраслях промышленности, строительстве, энергетике и сельском хозяйстве, охране окружающей среды. УДК 504.064.43:691.33:699.86 ББК 22.0 ISNB 985-417- © Научно-исследовательский центр проблем ресурсосбережения НАН Беларуси, 2005 Тез. докл. 6-й Междун. науч.-техн. конф. высокоэффективного плазмотрона постоянного тока с многосекционной ме­ жэлектродной вставкой для нагрева аргона и смеси аргона с метаном, кото­ рый служит для генерации сверхзвуковой плазменной струи при температуре плазмы до 11000 К. В струю плазмы вводятся необходимые реагенты для осаждения АПП на поверхности деталей машин и режущего инструмента. Струя нагретых реагентов вытекает в вакуумную камеру и взаимодействует с водоохлаждаемой преградой-подложкой. При таком взаимодействии на по­ верхности изделия формируется тонкая АПП. Осаждение пленки произво­ дится при пониженном давлении газа в камере-реакторе, обеспечивая тем са­ мым высокую скорость осаждения АПП. Разработанная установка включает в себя модернизированный силовой источник электропитания плазмотрона, систему автоматического поджига дуги, системы подачи рабочих газов и спе­ циальный форвакуумный насос. Проведены широкие физические исследования по осаждению АПП, определены оптимальные параметры осаждения АПП и достигнута скорость осаждения пленки до 20 мкм/ч. Изучены химический и спектральный соста­ вы пленки, ее износостойкие характеристики. В результате созданы основы металлосберегающей технологии упрочнения рабочих поверхностей деталей машин и режущего инструмента. Проведено нанесение АПП на режущие твердосплавные металлорежу­ щие пластины. Экспериментальные исследования режущих характеристик пластин при точении стальных поковок показали, что эффективность обра­ ботки выс
You might also like

материаловедение
Authors: Мальцев И.М.    273    0



организация производства. уч. пос
Authors: Серебренников Г.Г.    148    0







Optimization Of Structural And Mechanical Systems
Authors: Jasbir S. Arora    127    0