E-Book Overview
Екатеринбург: Уральский государственный университет им. А. М. Горького, ИОНЦ "Нанотехнологии и перспективные материалы" [Электронный ресурс], 2008. — 125 с.
Оптические методы широко используются в исследованиях различных свойств материалов, поскольку от этих свойств могут зависеть характеристики фиксируемого излучения. Преимущества оптических методов состоят в возможности получать информацию об объекте, не прибегая к физическому контакту с ним, как правило, оптические методы позволяют наблюдать за протеканием процессов в материале в режиме реального времени. Использование оптического метода подразумевает: во-первых, установление связи между параметрами излучения и свойствами материала; во-вторых, использование оптических устройств для измерения параметров излучения; в-третьих, восстановление свойств материала по параметрам излучения от него.ВведениеЭлектромагнитные волны. Способы описания<em>Свойства электромагнитных волнЭнергия плоской волныПоляризацияПараметры СтоксаМетоды измерения поляризации волныЭллипсометрия<em>Основные соотношения, используемые в эллипсометрииВывод основных соотношений между параметрами эллипсометрии и оптическими свойствами пленки на подложкеПример расчета зависимостей параметров эллипсометрии от величины комплексного показателя преломления пленки на подложкеИнструменты эллипсометрииМодели эллипсометриииПланарные матмодели ОИ в традиционной эллипсометрииСвойства решений ОУЭ для простой оптической модели ОИРазвитие нетрадиционных методов прикладной эллипсометрииНПВО - эллипсометрияСпекл Uфэу - эллипсометрияТрансформация инвариантов Френеля-Брюстера для модели однородного слояЭллипсометрия скрытых азимутальных девиацийРелаксационная Uфэу – эллипсометрияКомпьютерное моделирование свойств решений прямой задачи эллипсометрии для однородного слояТиповые решения прямой задачи ОУЭ для однородного слояКонтрольные примеры решений ОУЭ для однослойной моделиСвойства решений обратной задачи эллипсометрии для слояОбратная оптическая задача<em>Сверхразрешение в фазовых изображенияхМодель фазового объектаСингулярности и критерий разрешения в фазовых изображенияхСингулярности и сверхразрешение в фазовых изображенияхЗаключение по теме «Сверхразрешение»Список литературы
E-Book Content
ФЕДЕРАЛЬНОЕ АГЕНТСТВО ПО ОБРАЗОВАНИЮ Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования «Уральский государственный университет им. А.М. Горького» ИОНЦ «Нанотехнологии и перспективные материалы» Физический факультет Кафедра общей и молекулярной физики Инновационная образовательная программа «Опережающая подготовка по прорывным направлениям развития науки, техники и гражданского общества на основе формирования инновационнообразовательного пространства классического университета в партнерстве с академической наукой, бизнесом, органами власти с использованием мирового опыта в области качества образования и образовательных технологий» V. Учебное пособие по дисциплине «Оптические методы исследования в материаловедении» Руководитель ИОНЦ «Нанотехнологии и перспективные материалы» ИОП В.А.ЧЕРЕПАНОВ 15 ноября 2008 г. Екатеринбург 2008 ВВЕДЕНИЕ Оптические методы широко используются в исследованиях различных свойств материалов, поскольку от этих свойств могут зависеть характеристики фиксируемого излучения. Преимущества оптических методов состоят в возможности получать информацию об объекте, не прибегая к физическому контакту с ним, как правило, оптические методы позволяют наблюдать за протеканием процессов в материале в режиме реального времени. Использование оптического метода подразумевает: во-первых, установление связи между параметрами излучен